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SiC CMP拋光設備
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江蘇創生源智能裝備股份有限公司
江蘇
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江蘇創生源
1541
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系統類型:全自動化干燥/干燥晶圓尺寸:150mm或200mm工藝可行·EFEM:2-盒式，傳輸機器人中間機器人
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