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流通量

50SLM (小通道)
150/300 SLM (大通道)

工作壓差范圍

50SLM 0.05～0.50 MPa (小通道)
150/300SLM 0.25～0.50 MPa (大通道)

耐壓

1 MPa (小通道)
3 MPa (大通道)

工作環境溫度

5℃～45℃

漏氣率

單點＜1×10-8 atm·cc/sec He

工作電源

0～24V DC ≤5W

出入口接頭

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、3/8″、Φ10、Φ12、1/2″標準雙卡套接頭，VCR 1/4″陰接頭、VCR 1/4″陽接頭和VCR 1/2″陽接頭。

金屬材料

316L