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 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

高強(qiáng)度和穩(wěn)定性：碳碳PECVD爐承載板通常由碳材料制成，具有很高的強(qiáng)度和穩(wěn)定性，能夠承受高溫和化學(xué)反應(yīng)的影響，保證在整個(gè)PECVD過程中的穩(wěn)定性和可靠性。

良好的熱傳導(dǎo)性：碳材料的熱傳導(dǎo)性良好，這有助于在PECVD過程中保持材料的溫度一致，從而提高沉積過程的均勻性和效率。

耐腐蝕性：由于碳材料具有很好的耐腐蝕性，因此碳碳PECVD爐承載板可以在各種化學(xué)環(huán)境下保持穩(wěn)定，不會(huì)因?yàn)榛瘜W(xué)反應(yīng)而損壞。

使用壽命長：碳碳PECVD爐承載板的使用壽命較長，可以減少更換頻率，降低長期運(yùn)營成本

性能參數(shù)：

（無氧環(huán)境或惰性氣體保護(hù)下）