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反射高能電子衍射儀（Reflection

High-Energy Electron Diffraction）是觀察晶體生長*重要的實時

監測工具。它可以通過非常小的掠射角將能量為10～30KeV的單能電子掠射到晶體表面，通過衍射斑

點獲得薄膜厚度，組分以及晶體生長機制等重要信息。因此反射高能電子衍射儀已成為MBE系統中

監測薄膜表面形貌的一種標準化技術。

　　R-DEC公司生產的反射式高能電子衍射儀，以便于操作者使用的人性化設計，穩定性和耐久性以

及擁有高亮度的衍射斑點等特長得到日本國內及海外各研究機構的一致好評和認可。

用于有機薄膜晶體結構檢測。世界首創！歡迎來電詢問詳細技術資料！