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ZEM-5 Series塞貝克系數/電阻測量系統可以對高溫材料，高電阻材料，薄膜材料等多種材料進行測量。

應用：

評估半導體、陶瓷、金屬等材料的熱電性能。

特性：

1. 應用于各種材料的特性及特殊規格的薄膜等；

2. 測試Si系列(SiGe, MgSi). (HT 型) 的材料的**溫度傳感器是使用C型熱電偶；

3. 標配V-I圖自檢測系統；

4. **測試溫度1200℃（HT 型）；

5. **測量電阻10MΩ（HR 型）；

6. 測量在襯底上的熱電沉積膜（TF 型）；

7. 溫控范圍在-150℃~200℃（LT 型）；

設備參數：

Seebeck系數測量方法  設備參數（HT型）