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高低溫真空探針臺

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深圳市森美協爾科技有限公司

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高低溫真空探針臺
型號 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG--C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 170KG 190KG 290KG
電力需求 AC220V,50~60HZ
樣品臺 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸
樣品固定方式 真空導熱硅脂/彈簧壓片
樣品臺移動 固定的樣品臺
真空度 10^-10torr**真空
光學特性 顯微鏡行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸
放大倍數 變焦:7:1分辨率4μm (放大倍數216X)或者選用金像顯微鏡(20X~1000X
真空腔觀察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
溫控規格 制冷方式 液氮/液氦 制冷壓縮機
控制方式 開循環手動/自動冷媒流量控制 閉循環自動控制
控溫范圍 77K~450K/4.2K~450K 4.2K~450K
控溫分辨率 0.001K
溫度穩定性 4.2K   ±0.2K                  77K   ±0.1K
373K   ±0.08K                  473K  ±0.1K
      823K   ±0.2K(可選)            973K  ±1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時間 90min 150min
8K到常溫升溫時間 90min 90min
常溫開始的升溫時間  100        150           200
30min        50min           80min
加熱電源  LVDC 低壓直流
傳感器 硅二極管
傳感器數量 樣品臺,防輻射屏,探針臂各一個
功率 50W/100W/500W/1000W
點針規格 探針數量 2/4/6
探針調節 真空波紋管外部調節,手動控制
點針精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏電精度   10pA/100fA
接口形式 三軸/SMA/K/光纖接口
可選附件 防震桌
多級壓縮制冷機
機械泵/分子泵組/離子泵
射頻部件
Chuck運動裝置
電磁鐵系統/超導磁鐵系統
1Mpa正壓系統升級
超高溫升級選件
超高真空升級選件
客戶特殊定制
應用方向 高低溫真空環境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等

特點
可進行真空環境下的高低溫測試(4.2K~450K 可升級加載磁場
防輻射屏設計,樣品溫度均勻性更好 支持光纖光譜特性測試
兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 器件的高頻特性(支持**67GHz頻率)
探針熱沉設計 LD/LED/PD的光強/波長測試
自動流量控制 材料/器件的IV/CV特性測試


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高低溫真空探針臺

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