粉體行業在線展覽
等離子增強系統
面議
原速光電
等離子增強系統
1831
襯底尺寸:標準尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)
工藝溫度:溫度范圍:RT~500°C (可定制)
前驅體路數:**支持6路前驅體氣路(可定制),包含固、液態前驅體源瓶
加熱系統:可加熱溫度范圍:RT~150℃
反應物路數:支持2路反應物氣路(可定制)
載氣:標準:N2, MFC 流量控制(可定制)
等離子體系統:支持4路等離子體氣體(可定制)
射頻功率:0~1000W
壓力監測:雙薄膜規組合(耐腐蝕),0.005Torr - 1000Torr
本底真空度:<5x10-3 Torr
真空系統:標準油泵
控制系統:19寸顯示器,支持觸控工業級嵌入式工控機,高可靠性,支持擴展
操作系統:Win7 操作系統,工業級可編程邏輯控制器,支持現場總線與實時多任務處理操作
高溫加熱模塊:獨立的源瓶加熱模塊,可支持RT~200℃
LHTG/LHTM/LHTW
Empyrean
V-Sorb4800-金埃譜
Hydrolink
Autoflex R837
3H-2000A
SQL810C/1010C
D70
UNI800B
Tunable PowerArc
電磁波波譜濃度儀