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等離子增強系統

等離子增強系統

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深圳市原速光電科技有限公司

深圳

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

原速光電

型號:

等離子增強系統

關注度:

1831

產品介紹

設備規格

 

襯底尺寸:標準尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)
工藝溫度:溫度范圍:RT~500°C (可定制)
前驅體路數:**支持6路前驅體氣路(可定制),包含固、液態前驅體源瓶

加熱系統:可加熱溫度范圍:RT~150℃

反應物路數:支持2路反應物氣路(可定制)
載氣:標準:N2, MFC 流量控制(可定制)

等離子體系統:支持4路等離子體氣體(可定制)

射頻功率:0~1000W
壓力監測:雙薄膜規組合(耐腐蝕),0.005Torr - 1000Torr
本底真空度:<5x10-3 Torr
真空系統:標準油泵

控制系統:19寸顯示器,支持觸控工業級嵌入式工控機,高可靠性,支持擴展
操作系統:Win7 操作系統,工業級可編程邏輯控制器,支持現場總線與實時多任務處理操作

高溫加熱模塊:獨立的源瓶加熱模塊,可支持RT~200℃

 


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