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林賽斯薄膜激光導(dǎo)熱測量儀

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德國林賽斯熱分析

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780

產(chǎn)品介紹

材料的熱物理性質(zhì)以及*終產(chǎn)品的傳熱優(yōu)化在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域變得越來越重要。

經(jīng)過幾十年的發(fā)展,閃射法已經(jīng)成為常用的用于各種固體、粉末和液體熱導(dǎo)率熱擴散系數(shù)的測量方法。

薄膜熱物性在工業(yè)產(chǎn)品中正變得越來越重要,如:相變光盤介質(zhì)、熱電材料、發(fā)光二極管(LED ) ,相變存儲器、平板顯示器以及各種半導(dǎo)體。在這些工業(yè)領(lǐng)域中,特定功能沉積膜生長在基底上以實現(xiàn)器件的特殊功能。由于薄膜的物理性質(zhì)與塊體材料不同,在許多應(yīng)用中需要專門測定薄膜的參數(shù)。

基于已實現(xiàn)的激光閃射技術(shù),LINSEIS TF-LFA 薄膜導(dǎo)熱測試儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm——20μm厚度薄膜的熱物理性質(zhì)。

1.瞬態(tài)熱反射法(后加熱前檢測(RF)):

由于薄膜材料的物理性質(zhì)與基體材料顯著不同,必需要有相應(yīng)的技術(shù)來克服傳統(tǒng)激光閃射法的不足,即瞬態(tài)熱閃射法。

測量模型與傳統(tǒng)激光閃射法相同:檢測器和激光器在樣品兩側(cè)。考慮到紅外探測器測試薄膜太慢,因此檢測是通過熱反射方法完成的。該技術(shù)的原理是材料在加熱時,表面反射率的變化可*終用于推導(dǎo)出熱性能。測量反射率隨時間的變化,得到的數(shù)據(jù)代入包含的系數(shù)模型里面并快速計算出熱性能。

2. 時域熱反射法(前加熱前檢測(FF)):

時域熱反射技術(shù)是另一種測試薄層或薄膜熱性能(熱導(dǎo)率,熱擴散率)的方法。測量方式的幾何構(gòu)造被稱為“前加熱前檢測(FF)”,因為檢測器和激光在樣品上的同一側(cè)。該方法可以應(yīng)用于非透明基板上不適合使用RF技術(shù)的薄膜層。

3. 瞬態(tài)熱反射法(RF)和時域熱反射法(FF)相結(jié)合:

兩種方法可以集成在一個系統(tǒng)中并實現(xiàn)兩者優(yōu)點的結(jié)合。

溫度范圍*RT
RT -- 500°C
-100°C -- 500°C
激光器 Nd:YAG 激光
脈沖電流≤90mJ (軟件控制)
脈寬8 ns
激光探頭HeNe-激光器 (632nm), 2mW
前端熱反射 Si-PIN-Photodiode, 有效直徑: 0.8 mm,
直流電壓 … 400MHz, 響應(yīng)時間: 1ns
后端熱反射quadrant diode, 有效直徑: 1.1 mm
直流電壓 … 100MHz, 響應(yīng)時間: 3.5ns
測量范圍0,01 mm2/s -- 1000 mm2/s
樣品直徑圓形樣品 φ10...20 mm
樣品厚度80 nm -- 20 μm
樣品數(shù)量6樣品自動進樣器
氣氛惰性、氧化性、還原性
真空度10E-4mbar
電路板集成式
接口USB

*可更換爐體

*價格范圍僅供參考,實際價格與配置等若干因素有關(guān)。如有需要,請撥打電話咨詢。我們定會將竭盡全力為您制定完善的解決方案。

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