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技術應用

lGASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術，結合量子級聯激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度以無時延的探測*微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

l運行條件

溫度范圍：0℃…+49℃

濕度：無凝露

壓力范圍：750mbar-1050 mbar

防塵/水等級：IP20 (IEC 529)

l儲存條件

溫度范圍：-20 ℃ ~+60 ℃

l樣品氣體條件

溫度范圍：0 ~ +49 °C

濕度：無凝露，溫度達35°C時**相對濕度80%，溫度達49°C時線性下降至35%

壓力：750 mbar…1050 mbar

氣流：約1L/min

顆粒物< 1 μm

測量參數

l響應時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時間和采樣設定從大約15秒到幾分鐘不等

l監測下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb

l動態量程：5個數量級（檢測下限的100，000倍)

l重復性：運行條件下，校準濃度重復性小于1%

l準確度：校準濃度下好于5%，受限于校準氣體準確度

l溫度穩定性：在運行溫度范圍內的環境溫度變化不會導致漂移

l壓力穩定性：壓力范圍內的樣品壓力變化不會導致漂移

可靠的監測

l高靈敏度的GASERA ONE CF4可以在生產環境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質，可保證長期高穩定性。GASERA ONE CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監測儀等，整合在一個機柜里。

優勢

l準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

l快速的響應時間，以捕捉急速上升的濃度

l獨立運行系統，內置氣體交換泵

l無耗材或者化學試劑

l短光程，單點校準也可達到業內**的動態量程

l直接吸收測量，無漂移

l校準間隔長（可達數年）

l高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點

l高選擇性的監測痕量水平的CF4

l檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

l響應時間可設置，從10秒到幾分鐘

l動態范圍寬，運行穩定

l無耗材

l低樣品量（幾ml）

l內置氣體交換系統

l重新校準間隔長（幾個月）

l直觀的用戶界面

l內置顯示屏，可數字式或者圖線式顯示結果

l可通過局域網遠程操作