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波長范圍

(nm)

分辨率

(nm)

焦距

(mm)

型號

結構

掃描

功能

CCD/

MCP適配

成像

超高真空

（選項）

30 - 2，200

0.1

200

234/302

像差矯正S-N

●

●

●

30 - 1，200

0.05

500

235

S-N

●

●

●

105 - 20，000

0.04

670

207V

C-T

●

●

●

●

30 - 1，200

0.015

1，000

205

自動聚焦正入射

●

●

●

●

30 - 1，200

0.025

1，000

231

S-N

●

●

●

105 - 20，000

0.01

1，330

209V

C-T

●

●

●

●

30 - 250

0.005

3，000

2253

自動聚焦正入射

●

●

●

●

30 - 250

<0.002

6，650

265

離面正入射

●

●

●

●

<1 - 310

0.018

1，000

248/310

羅蘭圓掠入射

●

●

●

<1 - 80

0.02

5，650

251MX

平場變柵距光柵掠入射

●

●

8 - 120

0.08

800

OP-XCT

離面掠入射C-T

●

●

●

●

8 - 120

0.1

2，000

XCT

掠入射 C-T

●

●

●

●

10 - 170

0.05

292

251

平場輪胎面光柵掠入射

●

●

●