產品介紹 Product Introduction

NIM型真空紫外光譜儀，采用Seya- Namioka光路結構，入射狹縫和CCD探測器位于羅蘭圓上，可以單色模式和光譜模式切用 。

產品特點/ CHARACTERISTIC

● 波?范圍較寬

● 在線精密可調狹縫

● 可擴展空間維聚焦

● 可進?系統集成服務

● 結構緊湊集成度?

● ?真空兼容性

主要參數/ PARAMETERS

●光柵類型： 球?光柵

● 波?范圍： 80nm~200nm

● 光譜分辨率： 0.16nm@167nm

● 波?精度： 根據需求設計

● 探測器類型： 科研級相機

● 狹縫寬度： 0.01~3mm在線連續可調

測試數據/TEST DATA