Hitachi FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡, 采用大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設計，配備了高分辨率二次電子（SE）探頭、高靈敏度五分割背散射(BSE)探頭、IXRF SDD3330 EDS能譜儀。加速電壓0.3-20kV，底片放大倍率6-300,000x。二次電子分辨率4.0nm（20kV）、15.0nm(1kV)；EDS分辨率133eV，分析元素范圍Mg-Pu。可以對各種干燥無揮發的固態樣品的形貌、納米級形貌、粒徑大小進行觀察和分析；對金屬核殼結構、礦石、巖石中的金屬元素、稀土元素分布，金屬在非金屬樣品中的分布都有非常清晰直觀的效果圖；同時配備的能譜儀附件不僅可以對所觀察的樣品進行元素定性、定量分析，還可以做出元素在樣品形貌上的面分布和線分布。