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儀器簡(jiǎn)介：

HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是專(zhuān)為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過(guò)程研究而設(shè)計(jì)的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

應(yīng)用：

· 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究

· CVD / PVD / MOCVD

· 半導(dǎo)體晶片加工研究

· 真空、等離子體過(guò)程

· 活性物質(zhì)定量分析

· HF，HCl，HBr，CFC 研究

主要特點(diǎn)：

· 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連接器

· 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析

· 高靈敏度至 5 ppb， 質(zhì)量數(shù)可至2500 amu.

· 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓

· 電容壓力計(jì)，壓力檢測(cè)可不受分析物影響

· 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )

· 軟件 MASsoft 控制

· 矩陣反演，歸一化及單峰參考