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殘余氣體分析儀

四極桿質(zhì)譜儀是用于在真空系統(tǒng)中評(píng)估殘余氣體成分的經(jīng)典測(cè)量?jī)x。

質(zhì)譜儀為氣體成分質(zhì)量 - 電荷比供應(yīng)的離子電流提供有關(guān)真空系統(tǒng)在多個(gè)操作階段有用的信息，無(wú)論是用于確定安裝后的氣密性和無(wú)污染性還是在操作真空處理時(shí)用于其特性。

根據(jù)真空室和抽氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在真空系統(tǒng)中獲得的壓力范圍決定了質(zhì)譜儀對(duì)檢測(cè)器的選擇。在高真空中，通常一個(gè)法拉第檢測(cè)器就足夠了，而在高真空中檢測(cè)非常低的氣體密度時(shí)，一個(gè)二級(jí)電子倍增器是必要的。另一個(gè)重要標(biāo)準(zhǔn)則是待檢測(cè)的質(zhì)量范圍。

在傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)中，大氣中的氣體，例如氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻⑺羝龋ǔＪ艿捷p烴污染是重點(diǎn)。為了檢測(cè)這些氣體，范圍在 1 至 100 原子質(zhì)量單位 (amu) 之間的四極桿質(zhì)譜儀是理想的，因?yàn)樵谠摲秶鷥?nèi)顯示了良好的質(zhì)量分離。若較重的氣體及其組成成分也須檢測(cè)出來(lái)，如長(zhǎng)鏈烴，普發(fā)真空也為此提供了范圍在 1?200 amu 或 1?300 amu 之間的質(zhì)量過(guò)濾器。

開(kāi)放的離子源在大多數(shù)殘余氣體分析任務(wù)中是**選擇，因?yàn)樗鼈儗⒎€(wěn)健的設(shè)計(jì)與較高的檢測(cè)靈敏度相結(jié)合。憑借封閉或交叉束離子源，可有利地掌握必須分析氣體噴流或氣體流的任務(wù)。對(duì)于超高真空范圍，也可提供具有極低釋氣率的柵網(wǎng)離子源。

由于有大量的部件可供選擇，且得益于普發(fā)真空四極桿質(zhì)譜儀的精確配置，質(zhì)譜儀可作為所有測(cè)量任務(wù)的**選擇。我們的產(chǎn)品和應(yīng)用專家擁有多年的經(jīng)驗(yàn)，將十分樂(lè)意為您提供有關(guān)殘余氣體分析儀配置方面的一些建議。

PrismaPlust四極質(zhì)譜儀：

PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智慧化操作的**結(jié)合是 PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點(diǎn)。在適用中客戶將感受到它堅(jiān)固，緊湊的設(shè)計(jì)和簡(jiǎn)單的系統(tǒng)集成，并從中受益。

通過(guò)可選擇質(zhì)量數(shù)范圍，檢測(cè)器、離子源和介面介面等，該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，例如：工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀是從品質(zhì)保證，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的**方案。

PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀可 以在三個(gè)不同的質(zhì)量數(shù)范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內(nèi)，下至檢測(cè)極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測(cè)結(jié)果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉， 第和電子倍增檢測(cè)儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識(shí)別出來(lái)。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個(gè)壓力量規(guī)，PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀就可以作為一個(gè)精確的全壓監(jiān)控器使用。

Quadera 軟件不僅操作簡(jiǎn)單，它還提供了捕獲和觀察所有測(cè)試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺(tái)。結(jié)合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網(wǎng)，數(shù)位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點(diǎn)滑鼠就可以啟動(dòng)預(yù)設(shè)的功能。

Hiquad700是一款高分辨率的四極質(zhì)譜議

• 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu

• 超過(guò)九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程

• 極快的測(cè)量速度：0.125 ms/amu

• *小可檢分壓< 10E-16 mbar

• 極高的分辨能力，可以分析小分子氣體同位素

• 分壓比<0.3ppb

• 超過(guò) 10 個(gè)不同的離子源和離子光學(xué)組合

• 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件

• 用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計(jì)數(shù)前置放大器

• IO 選項(xiàng)：8 個(gè)模擬輸入/輸出和 32 個(gè)數(shù)字輸入/輸出

• 軟件功能強(qiáng)大，靈活實(shí)用且具友好的用戶界面