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掃描電容顯微鏡（SCM）是一種表征材料納米電學性質的原子力顯微鏡（AFM）成像技術，它使用微波射頻（RF）信號來探測半導體和其它種類樣品中的電荷，載流子的位置，摻雜水平和摻雜類型（p型和n型）等。全新快速掃描電容顯微鏡 SCM可以在牛津儀器的 Asylum Research 的快速掃描 Cypher 和 Jupiter XR AFM 平臺上使用。

牛津儀器Asylum Research SCM模式的獨特之處在于，它不僅可以測量微分電容（dC/dV），還可以測量分辨率低至1aF的電容，而且是可以直接測量電容。與傳統的SCM相比，它具有更高的分辨率和更快的掃描速度。更高的靈敏度允許探測金屬和絕緣體，以及傳統半導體器件以外的非線性材料——包括那些不形成自然氧化物層的材料。