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EM-30高分辨率臺(tái)式掃描電鏡打破了傳統(tǒng)臺(tái)式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性，利用創(chuàng)新的雙聚光鏡成像技
術(shù)， 采用大型掃描電鏡成像原理， 使用二次電子探測器作為基礎(chǔ)成像單元， 從而可以獲得更高的分辨率
（<5nm），是真正意義上的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡。

COXEM（庫賽姆）EM-30特點(diǎn):

使用方便、體積小巧、對環(huán)境要求低；
◆ 分辨率高，大樣品倉；
◆ 自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)；
◆ 加速電壓范圍廣；
◆ 可選配附件多：EDS、冷臺(tái)；