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歡迎來到 HEX 系列

?度模塊化的   PVD   系統(tǒng)

  獨特的開放式架構(gòu)，為薄膜沉積研究?員提         

 供?與倫?的?戶控制、定制和升級能?。

HEX  系列薄 膜沉 積 系統(tǒng)可 為 您的研究和 實施應(yīng)? 提供多種沉

積選項。 從基本系統(tǒng)開始，該裝置可以升級到擁有不同配置 

源的儀 器。 這些升級是模塊化的，安裝簡單，提供了?種經(jīng) 

濟(jì)?效的解 決?案，同時減少了系統(tǒng)停機(jī)時間。 ?論您的研 

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