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碳化硅（SIC）

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東海耀碳素

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碳化硅（SIC）

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東海采用CVD法生產(chǎn)的Solid SiC產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于離子刻蝕等半導(dǎo)體設(shè)備中，我們的產(chǎn)品有以下幾大優(yōu)勢：

1、無熱變形

2、無氣體釋放

3、良好的化學(xué)穩(wěn)定性

4、相比硅材料壽命長

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