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>球型腔室客制化超高真空腔體
、
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日揚電子科技（上海）有限公司
上海
面議
Htc日揚真空
2277
特別客制球型UHV超高真空腔體, 依客戶圖稿需求訂制
16” 球型客制化UHV超高真空腔體加工
材質：S.S.304
表面處理：電解拋光
規格：16” 球型UHV超高真空腔室
泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec
工作壓力<7.5 x10-10 torr
Flange同心度對準 < 0.2?
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