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　源瓶(起泡器)用于固態、液態及氣態超純物料類的封裝，涉及微正壓、常壓、中低壓的危險化學品，所以對源瓶的安全性和潔凈度提出嚴苛的要求。

　　源瓶特點：

　　1、所有管件采用316L不銹鋼，內部經400目機械拋光和電化學拋光，Ra≦0.25微米;

　　2、閥門有美國世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國TK隔膜閥供選擇;

　　3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片;

　　4、氦質譜檢測泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;

　　5、可盛裝化學品純度≧99.9995;

　　6、總殘余元素量≦50PPb;

　　7、墜落試驗，通過國家商檢部門檢測;

　　8、介質，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;

　　9、可選擇氣動閥門或者實現在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等;

　　10、可提供非標定做。