粉體行業(yè)在線展覽
單片晶圓濕式工藝設(shè)備
面議
北京科翰龍
單片晶圓濕式工藝設(shè)備
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采用單片晶圓濕式工藝設(shè)備,適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓、8″- 12″晶圓。
工藝過程可編程,適應(yīng)于晶圓*終清洗、投片前清洗、晶圓刻蝕等不同工藝
可對(duì)正面及背面同時(shí)進(jìn)行清洗或腐蝕
采用雙手指機(jī)械臂傳送晶圓
采用雙面無基礎(chǔ)清洗載物臺(tái)
配備雙面PVA刷洗功能
配備藥液控溫單元
配備自動(dòng)配藥單元
可選配兆聲單元
可選配自動(dòng)滅火單元
全自動(dòng)IC料條打碼機(jī)
晶圓倒角機(jī)WGM-600
多功能IC料條打碼機(jī)
晶圓邊形輪廓儀
自動(dòng)晶圓磨邊倒角機(jī)
晶圓最終清洗設(shè)備
單片晶圓濕式工藝設(shè)備
晶圓打碼機(jī)WM-600/800/1200
超潔晶圓打碼機(jī)WM-SC800SMIF
超潔晶圓打碼機(jī)WM-SC1200FOUP
晶圓修邊設(shè)備