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深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮氣。氮氣純度受到氮氣負荷、塔板數量、塔板效率和液空中氧純度等的限制，調節范圍很小。因此，對于一套深冷制氮設備其產品純度基本是一定的，不便調節。變壓吸附制氮制取的氮氣純度一般在95%-99.9%范圍內，假如需要更高純度的氮氣需增加氮氣凈化設備。氮氣純度只受產品氮氣負荷的影響，在其他條件不變情況下，氮氣排出量越大，氮氣的純度就越低；反之則越高。因此，對于一套變壓吸附制氮設備只要負荷答應其產品純度可以在90-99.9%之間任意調節。