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雙傾角約瑟夫森結制備系統

QBT-J

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廈門韞茂科技有限公司

福建

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

韞茂科技

型號:

QBT-J

關注度:

2756

創新點:

約瑟夫森結超高壓系統:超高真空設計,真空互聯傳輸平臺,專為量子計算、超導應用而生。

產品介紹

全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統  QBT-J 

四腔體.jpg

約瑟夫森結超高壓系統


   全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統專專業制備約瑟夫森結制備,可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層,確保高性能制備及高成品率;此鍍膜儀有進樣室、氬離子清洗室、電子束蒸 發室以及氧化室,共計四個高真空腔室,腔室間使用傳樣桿進行高真空傳樣,傳遞模組須采用抓取式設計;設備所有工藝均支持4英寸及以內的晶圓或不規則樣品。設備整個工藝過程,可以完全按照用戶設置的參數自動化運行,工藝流程包括并不限于:抽真空,監測氣壓,離子清洗,樣品位置調節、傳樣,加熱,電子束蒸發特 定厚度設置,自動調整氣壓等。


微信圖片_20220224094931.jpg

技術參數


QBT-J 技術參數 Technical Specifications (雙傾角約瑟夫森結制備)
超高真空腔體 UHV Chamber4個UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 極限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr
基板加熱 Wafer HeatingRT-900℃
離子束清洗 Ion Milling考夫曼離子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蝕均一性<3%
電子束蒸發 Ebeam EvaporationUHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply
氧化 OxidationFlow and Static Mode Oxidation
基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation可實現180度傾斜及360度旋轉,0.1度的精準控制
基板傳輸 Wafer Transfer高度可靠和可重復的基板傳輸能力
人機界面 HMI全自動化人機操作界面
安全Safety工業標準安全互鎖Industry Safety Interlock,報警Alarm,EMO








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雙傾角約瑟夫森結制備系統

QBT-J

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