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NE-PE150L真空等離子清洗機包括反應室、射頻電源及匹配系統、真空系統、工藝氣路系統、壓力控制系統、電氣控制

系統等，等離子清洗工藝是直接把高能等離子體流施加到被清洗表面以達到等離子體清洗的目的。選擇不同的氣體種類

和配比，可以滿足很多等離子體清洗的要求。例如:用氧氣等離子體可以使有機物沉積被氧化掉;用惰性的氬氣等離子

體可以使顆粒污染被機械地沖洗掉，用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化，等等。應用等離子體清洗金屬、陶瓷和塑

料表面的有機物，大大增強了這些材料表面的附著力和鍵合力。