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鎂伽MRS-ST系列激光切割機(jī)是基于內(nèi)聚焦技術(shù)的激光精密加工設(shè)備，應(yīng)用于第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)晶圓的切割。產(chǎn)品基于鎂伽InteVega框架及視覺技術(shù)平臺(tái)研發(fā)，包含自動(dòng)輪廓識(shí)別、自動(dòng)水平校正、自動(dòng)設(shè)置基準(zhǔn)點(diǎn)、自動(dòng)調(diào)焦等功能。整機(jī)設(shè)計(jì)為一鍵式啟動(dòng)，自動(dòng)讀取條碼調(diào)檔，全自動(dòng)加工設(shè)備，并集成生產(chǎn)信息統(tǒng)計(jì)、稼動(dòng)率統(tǒng)計(jì)以及數(shù)據(jù)上拋等晶圓產(chǎn)線規(guī)范要求的多種功能。