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快速退火爐

CVD

直接聯系

上海哈騰電爐設備有限公司

上海

產品規格型號
參考報價:

面議

型號:

CVD

關注度:

3122

范圍(量程或細度):

--

產品介紹

  1. 設備特點


        1. 升降溫速度快,升溫采用環形紅外短波加熱器,*快升溫速率可達200℃/s,降溫時通過將爐膛退出,實現對產品的快速降溫;
        2. 測溫采用精準的S型金屬熱電偶直接測量產品表面,使加熱工件的溫度更加準確;
        3. 控制數學控制數學模型采用先進的PID自學習模糊雙閉環控制模式,使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態仍能保持在±3℃;
        4. 功能多樣化,既可以用于材料的快速升降溫退火,也可用于化學氣相沉積(CVD)法,在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備。


   

  1. 設備參數

電源

AC380~400V,50HZ(60Hz定制)

**功率

15Kw

額定溫度

1100℃

使用溫度

≤1000℃

反應腔室尺寸

Φ100X200

溫場均勻性

±3℃

溫度控制模式

智能模糊全閉環PID控制

傳感器內型

S型單鉑銠

*快升溫速率

200℃/s

降溫速率

1~200℃/s(通氮氣,速率更快)

操作方式

觸摸屏控制

真空系統

選配

進出氣接口

Φ6卡套

本產品接受非標定制


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快速退火爐

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上海哈騰電爐設備有限公司

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