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【簡單介紹】          

FGL系列雙溫區管式梯度爐專門設計用于雙溫區CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝。兩個溫區獨立控制，溫區可單獨使用，也可提供較大梯度差的溫場。優質硅鉬棒、硅碳棒，電阻絲組合加熱，在同一腔體內實現不同的溫度差，是CVD工藝的專用理想設備。

【詳細說明】

FGL系列雙溫區-管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL系列雙溫區-管式梯度爐專門設計用于雙溫區CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝。兩個溫區獨立控制，溫區可單獨使用，也可提供較大梯度差的溫場。優質硅鉬棒、硅碳棒，電阻絲組合加熱，在同一腔體內實現不同的溫度差，是CVD工藝的專用理想設備。

特點

1. 工作溫度RT～1600℃

2. 爐管管徑40mm～100mm可選

3. 溫區個數2個

4. 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準。可編輯、儲存并調用多段程序，無需重新設置，操作簡單。
   

5. 爐殼結構，雙層爐殼風冷結構。

6. 采用不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣閥配美標針閥。

7. 兩端可調節式法蘭支撐結構，延長剛玉管使用壽命。

8. 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。

9. 安全保護當爐體漏電時自動斷電。

10. LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕，經久耐用。

11. 拓展選件: 爐內測量系統（氧含量檢測系統、溫度檢測系統）；

真空系統（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；

氣氛系統（浮子流量計、質量流量計）；

監控系統：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控）；