粉體行業在線展覽
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BTF-1200C-R-S-PECVD
直接聯系
安徽貝意克設備技術有限公司
安徽
面議
貝意克
BTF-1200C-R-S-PECVD
2413
一、主要特點
1、該設備爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;
2、可左右大角度傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間;
3、該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD)，連續可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統，可以實現低壓條件下的實驗，針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象;
4、本款設備可以做金屬復合石墨烯材料，是目前**端的金屬復合材料制備設備。
二、技術參數
顯示模式 | 7"液晶觸屏顯示 |
**溫度 | 1200℃ |
升溫速率 | 10℃/S |
加熱區長度 | 230mm |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 |
爐管尺寸 | Φ25*800mm |
爐管轉速 | 3~13r/min |
傾斜角度 | 0~35° |
加熱功率 | 3KW |
射頻功率輸出范圍 | 0~500W |
供氣系統 | 標配三路質量流量計（50/100/200sccm） |
供電電源 | 220V50Hz |
通訊接口 | USB |
外形尺寸 | 1600mm*650mm*1400mm |
設備凈重 | 約220KG |
