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這是一款定制組合式PECVD設(shè)備。該設(shè)備主要由加熱爐、射頻組件、氣路柜組成。

1、開(kāi)啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，3點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開(kāi)啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。

2、射頻組件

500W射頻機(jī)組，可以使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效。

3、氣路柜組件

可控制多種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭組成，外形美觀，操作簡(jiǎn)便，數(shù)據(jù)直觀可讀。