工作區尺寸mm

300×300×600

400×400×800

600×600×1000

裝爐重量Kg

80

200

500

**溫度°C

1350

1350

1350

使用溫度°C

1150

1150

1150

溫度均勻性°C

±5

±5

±5

裝機容量KVA

100

150

200

極限真空度Pa

0.7、0.003

0.7、0.003

0.7、0.003

壓升率Pa/h

0.67

0.67

0.67

工業氣氛

Ar/N2/H2

Ar/N2/H2

Ar/N2/H2

氣體壓力bar

2

2

2