小型超高真空退火爐

真空室結(jié)構(gòu):

退火室為立式雙層水冷真空室，進(jìn)樣室為臥式結(jié)構(gòu)

真空室尺寸:

φ350mm

極限真空度:

≤6.67E-7Pa

沉積源:

無(wú)

樣品尺寸，溫度:

φ4英寸，1片，**1600℃

占地面積（長(zhǎng)x寬x高）:

約3米x1.1米x2米

電控描述:

手動(dòng)

工藝:

不含工藝

產(chǎn)品概述：
由退火腔，樣品庫(kù)，進(jìn)樣室，加熱器，真空系統(tǒng)組成。可實(shí)現(xiàn)在10-5帕超高真空狀態(tài)下對(duì)工件退火1600℃

設(shè)備用途：
主要用于各類工件的退火;表面淬火件回火;焊件消除應(yīng)力退火、時(shí)效等熱處理工藝。