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氮化硅陶瓷燒結裝備的主要配置如下：

爐門：側開門，臺車裝出料

爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：石墨保溫或金屬保溫

加熱器：石墨或鉬加熱體

工藝氣路系統：體積/質量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產

真空泵和真空計：進口/國產

人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機

PLC：霍尼韋爾DCS控制器、西門子PLC、歐姆龍PLC

控溫：霍尼韋爾DCS控制器、日本導電儀表、霍尼韋爾儀表、歐陸儀表

熱電偶：WRW-2300或紅外

電器元件：天正/正泰/施耐德/西門子

氮化硅陶瓷燒結裝備的規格：