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LPE（液相法）生長碳化硅具有晶體缺陷少、生長效率高、生長溫度低、節(jié)能、降低電耗等優(yōu)點，可生長p型碳化硅晶體。

產(chǎn)品特點

可以生長超過6英寸的晶體

正壓設(shè)計，腔體壓力可達(dá)180 kPa，減少溶液揮發(fā)

腔體內(nèi)壁拋光處理，減少附著力，實現(xiàn)高真空

兩級設(shè)計，方便保持腔內(nèi)清潔

更精準(zhǔn)的控壓技術(shù)，長晶工藝壓力波動<5Pa

雙加熱系統(tǒng)設(shè)計可在解決方案內(nèi)提供更均勻的溫度場

籽晶軸、坩堝軸冷卻水流量可精確控制，溫度場更穩(wěn)定

具有籽晶旋轉(zhuǎn)升降、坩堝旋轉(zhuǎn)、加熱線圈升降功能

籽晶旋轉(zhuǎn)和坩堝旋轉(zhuǎn)模式可編程，方便技術(shù)開發(fā)

獨特的工藝氣體引入設(shè)計，使工藝氣體可以直接傳遞到種子的背面

高精度傳動部件，重復(fù)定位偏差<10μm

自主開發(fā)的控制系統(tǒng)，豐富的公式編輯界面，操作權(quán)限分級，可遠(yuǎn)程控制

技術(shù)參數(shù)

腔室內(nèi)部尺寸Φ900×1200mm主加熱圈功率100kW熱場**直徑520mm**溫度2200℃籽晶提取速度處理速度：0.01-0.5mm/h

快速移動速度：6-300mm/min籽晶旋轉(zhuǎn)1-100rpm，旋轉(zhuǎn)模式可編程坩堝轉(zhuǎn)速1-100rpm，旋轉(zhuǎn)模式可編程卷材升降速度處理速度：0.01-5mm/h

快速移動速度：6-300mm/min電源接口3P 380VAC，112kVA

3P 380VAC，24kVA

3P 380VAC，15kVA氣源Ar、He、N2，壓力＞0.2MPa

壓縮空氣、壓力0.4-0.6MPa冷卻水壓力0.3-0.5MPa

流量200L/min尺寸1800×1500×4400mm（不包括坩堝拆卸絞車和平臺）

4080×3050×4400mm（包括坩堝拆卸絞盤和平臺）重量4000kg