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雙料室氣相沉積實驗爐

MGB60-180HH1

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深圳市美格真空科技有限公司

廣東

產品規格型號

參考報價：

70-80萬元

品牌：

美格

型號：

MGB60-180HH1

關注度：

2220

產品介紹

技術參數：

裝料罐尺寸2*Φ200 X 600，裝料量0.04 M3，工作溫度1350℃，極限溫度1600℃，真空度0.1-2.5Pa，氣氛類別：Ar/N2，總功率90KW，工序時長24H/爐。

產品特點：

可雙料室裝載不同物料，分料室單獨控溫，獨立型腔混合反應后氣相沉積

適用于動力電池硅負極材料氣氣預鎂化

關鍵詞：

預鎂化、氣氣預鎂化、預鎂化實驗爐、前段預鎂化實驗爐、硅負極前段預鎂化

產品咨詢

雙料室氣相沉積實驗爐

MGB60-180HH1

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