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開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數通常由*上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種*靈敏的表面分析技術。

我們的開爾文探針系統包括：

□單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；

□掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；

□超高真空(UHV)開爾文探針；

□濕度控制的腐蝕開爾文探針；

掃描開爾文探針系統

ASKP系統是一款可以被大多數客戶所接收的高端掃描開爾文探針系統，它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置，其規格如下：

□2毫米，50微米探針；

□功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；

□針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內；

□表面勢和樣品形貌3維地圖；

□探針掃描或樣品掃描選配；

□彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置；

□參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌)；

□備用的針尖放大器；