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產品特點

? 超高純度氣體終端適用于所有氣體輸送系統

  100TG:≤30 slpm （1/4 " VFS）

  200TG:≤300 slpm （3/8”VFS）

  300TG:≤600slpm （1/2 " VFS）

? 控制精度高

? 所有連接端口使用焊接或VFS接頭

? 手動或氣動隔膜閥選擇

? 100%氦泄漏測試

技術參數

? 進氣壓力P1: 300 psig

? 出氣壓力P2: 30/60/100/150 psig

隔膜閥材質

? 母體: 316L

? 閥座: PCTFE

? 膜片: Elgiloy?

監管機構材質

? 母體: 316L / 316L secondary remelt

? 閥座: PCTFE

? 膜片: Hastelloy? C276

? 泄漏率: (外部) 1x10^-9 mbar I/s He

              (內部) 1x10^-8 mbar I/s He