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核心技術(shù)：

超高膜厚勻性控制工藝與設(shè)備技術(shù)；

超低溫成膜工藝與對應(yīng)之設(shè)備技術(shù)；

**射頻等離子體清潔工藝；

簡介： 九大**： 客制化精密零件、自主研發(fā)、**遠(yuǎn)端監(jiān)控、雙變頻電控系統(tǒng)、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統(tǒng)、關(guān)鍵數(shù)據(jù)趨勢圖  先進性： 干泵結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計以降低能耗； 零件采用特殊涂層，增加抗腐蝕能力； 新型冷卻結(jié)構(gòu)及內(nèi)建熱氮氣吹掃功能模式 

核心技術(shù)：

超高膜厚勻性控制工藝與設(shè)備技術(shù)；

超低溫成膜工藝與對應(yīng)之設(shè)備技術(shù)；

**射頻等離子體清潔工藝；

先進性：

自有IP特殊Pre-treatment電極設(shè)計；

保證立體結(jié)構(gòu)的完整包覆是借由設(shè)計TS Distance的優(yōu)化，**的shielding box設(shè)計以及工藝參數(shù)的優(yōu)化來達(dá)成；

獨特的cathode設(shè)計特點

簡介： 九大**： 客制化精密零件、自主研發(fā)、**遠(yuǎn)端監(jiān)控、雙變頻電控系統(tǒng)、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統(tǒng)、關(guān)鍵數(shù)據(jù)趨勢圖  先進性： 干泵結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計以降低能耗； 零件采用特殊涂層，增加抗腐蝕能力； 新型冷卻結(jié)構(gòu)及內(nèi)建熱氮氣吹掃功能模式