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新一體化鎢燈絲掃描電鏡 Axia ChemiSEM，該儀器將微區成分分析與電鏡成像集成在同一平臺上，快速提供所需微觀形貌及實時成分信息，幫助學術和工業用戶快速獲得全面、可靠的數據，準確執行故障分析和缺陷檢測。

Axia ChemiSEM 主要技術參數及特點：

•通用型 SEM 系統，可涵蓋多種類型樣品。可分析絕緣材料、處理大而重（達10 kg）的樣品，同時能夠分析常規的小尺寸樣品。

•靈活性 SEM 系統，支持各類功能附件。

•使用便捷，不依賴于用戶操作水平、能夠便捷提供元素或化學信息。

•高度自動化，自動對中技術確保系統始終處于**工作狀態，用戶指南及撤銷功能幫助用戶更輕松操作系統。

•處理效率**：實時定量成分分析成像，更快獲得定量分析數據。

•分辨率：3nm@30kV，8nm@3kV