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日本電子JSM-6510掃描電子顯微鏡

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富瑞博國際有限公司

日本

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產品介紹

日本電子JSM-6510掃描電子顯微鏡

——富瑞博國際有限公司代理多家國際知名儀器廠商產品

儀器簡介:

JSM-6510掃描電子顯微鏡

JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡,與日本電子公司的元素分析儀(EDS),統合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制,操作員只用一只鼠標,就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。

操作窗口

直觀的操作界面的設計,簡明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用戶

單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標,營造快捷的操作環境。用戶登錄時,即可加載已注冊過的設定。

同時顯示兩幅圖像

畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。

微細結構測量

適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像,保存在文件中。

標準的全對中樣品臺,能收錄三維照片

3D Sight(選配件),能夠進行平面測量和高度測量,實現立體俯視圖。

從圖像觀察到元素分析,配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監視器,一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析(EDS)。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。

維護簡便

工廠預置中心燈絲,十分便于更換。因此,可長期保持穩定的高性能。此外,操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。

可信賴的真空系統

真空系統使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件,體現了操作穩定,維護簡便的特色。

JSM-6510規格
保證分辨率 3.0nm(30kV)

8.0nm(3kV)

15nm(1kV)

放大倍數 5至300,000x
加速電壓 0.5kV至30kV
電子槍 工廠預對中燈絲
聚光鏡 變焦聚光鏡
物鏡 錐形物鏡
樣品臺 全對中樣品臺
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋轉 360°
傾斜 -10°至+90°
排氣系統

(高真空模式)

DPx1,RPx1
排氣系統

(低真空模式)

DPx1,RPx2

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