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■技術參數

分辨率：20nm(30kv，BSE Image)

- 放大倍率:30x ~ 30，000x

- 加速電壓:5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)

■圖像

背散射電子圖像（BSEI），適用于非導體樣品

■規格

- 樣品移動距離

: X: 20mm， Y: 20mm，

Rotation : 360°

- **樣品尺寸: 直徑50mm

-**樣品厚度: 20mm

■系統結構

- 電子槍: 預對準鎢燈絲

背散射電子圖像

- 真空泵：

旋轉式真空泵100L/min

渦輪分子泵80L/S

抽真空時間2分鐘內

■設備主要構成

- 筆記本電腦1臺

- 電子掃描顯微鏡主體一臺

- 燈絲5個

- 載物臺15mmdia (10pcs/set)

25mmdia (5pcs/set)

15mm45°tilt(5pcs/set)

15mm90°tilt(5pcs/set)