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儀器簡介：

2006年12月一推出，立刻受到高校科研單位歡迎。

國內用戶有 南京大學分析中心 上海師范大學 天津46所

技術參數：

3、儀器主機功能與附件功能

3.1 單色化XPS，Al Kα，包括：

大面積XPS、小面積XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。

3.2 雙陽極XPS，Mg/Al Kα

3.3 紫外光電子能譜，UPS

3.4 高壓反應室

3.5 分析室樣品冷/熱臺

4、儀器主要部件

4.1 超高真空分析室

180度半球能量分析器，

電子透鏡傳輸系統，

１６多通道電子檢測器

分子泵，離子泵，鈦升華泵

　　　單色化XPS （AlKα）系統，含內循環水冷卻裝置，

XPS成像系統，

雙陽極XPS系統，冷卻循環水和單色化系統共用

紫外光源，

荷電中和系統，用于絕緣樣品或導電性差的樣品的荷電補償，

5軸樣品臺，

標準樣品托　２個

Recessed樣品托　1個

氬離子槍，用于深度剖析，

熱雙燈絲離子規，

閉路電視顯微彩色攝像系統和SXI成像系統，

分析室和進樣室都有獨立光纖照明系統，

可觀察視窗，視窗直徑10cm左右，

樣品熱/冷臺，溫度可監測。

4.2 樣品進樣室

機械泵，分子泵 熱雙燈絲離子規，

可觀察視窗，視窗直徑10cm左右。

空氣壓縮機一臺，國內采購

4.3 石英高壓反應池

程序控溫系統

真空監測系統

真空泵系統

進出氣系統，參考南京大學用戶設計建議。

壓力 一個大氣壓

全石英底座

密封材料 Byton O-ring

**溫度 600度

遠紅外線加熱控溫系統

單獨石英反應器冷卻系統

4 樣品磁耦合傳輸系統

4.5 真空烘烤系統

4.6 主機系統集成，減震裝置。

4.7 計算機系統，含數據采集和數據處理軟件包。

4.8 與以上所有系統相關聯的電子學控制柜。

5、儀器主要技術參數與要求

5.1 儀器主機功能，單色化Al Kα

5.1.1 大面積XPS

Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤1.00eV時，靈敏度≥1，000，000 cps。

Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤0.60eV時，靈敏度≥250，000 cps。

5.1.2 小面積XPS，*小分析面積≤10μm ，性能指標應達到：

Ag3d5/2，20μm， FWHM≤0.60eV時，靈敏度≥15，000 cps。

Ag3d5/2，10μm， FWHM≤0.60eV時，靈敏度≥4，000 cps。

Ag3d5/2，10μm， FWHM≤1.00eV時，靈敏度≥12，000 cps。

Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree

75degree

Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV時，靈敏度≥ 99kcps

Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV時，靈敏度≥ 47kcps

45degree

Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV時，靈敏度≥ 50kcps

Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV時，靈敏度≥ 27kcps

5.1.3 成像XPS

單色化X射線掃描成像，**空間分辨率≤10 μm。

5.1.4 深度剖析XPS

聚焦掃描氬離子槍，當working distance為30 mm時.聚焦氬離子束斑≤150μm，當

working distance為60mm時候，聚焦氬離子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。

5.2 儀器附件功能

5.2.1 雙陽極XPS，MgKα，Ag3d5/2，FWHM≤1.40eV時，靈敏度≥1，000，000 cps。

5.2.2 紫外光電子能譜（UPS）

(a) 光源：He紫外光源，HeI:HeII=3:1

(b) 性能指標：分辨率（Ag費米邊）≤120 meV時，靈敏度（Ag4d）≥2，000，000 cps。

(c) *小步長：5meV

5.2.3 高壓反應室

(a) 材質：石英

(b) 內膽內壓強：≥760Torr

(c) **溫度，≥600℃

(d) 氣體混合倉附計量裝置，包括壓力表、流量計和針閥等。

5.2.4 分析室樣品冷/熱臺，溫度：170 K–600 K，溫度可檢測，加熱PID控制。

5.3 儀器主要部件參數與要求：

5.3.1 能量分析器

(a) 類型：半球能量分析器

(b) XPS能量范圍： 0–1600 eV（25 meV）

UPS ：0～320 eV（5 meV）

5.3.2 超高真空分析室

(a) SUS材質內表面經過特殊處理

(b) 真空：小于6.7×10-10 mbar

5.3.3 樣品進樣室

(a) 材質：非磁性不銹鋼材料

(b) 真空：小于6.7×10-9 mba

5.3.4 深度剖析氬離子槍

100eV–5keV，連續可調，掃描型。

5.3.5 荷電中和系統：雙槍中和系統。

5.3.6 樣品控制臺

(a) 軸向：5軸，

(b) 移動：各向移動距離必須與樣品臺尺寸相匹配，步進步長小于1μm，

(c) 傾斜：0–90°

5.3.7 計算機系統

(a) Pentium IV，CPU主頻3.0GHz左右；

(b) 內存2G， 硬盤250 G；

(c) ２個DVD/CD-RW Combo光盤驅動器，

(d) 22" 液晶平板顯示器；

(e) 4個USB2.0接口；

(f) 100M以上以太網接口，用于數據傳輸；

(g) 預裝Windows XP正版軟件；

( h ) 預裝儀器操作軟件和數據分析軟件（含**的XPS數據庫），附安裝軟件光盤；

主要特點：

1.世界上****掃描微聚焦X-射線source

2..世界上****掃描微聚焦X-射線產生的2次電子成像SXI像和XPS成像，可以幫助客戶找到肉眼看不見的微觀缺陷。

3。可以給出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同類產品的1倍以上。