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SionTM射頻放弧探測器

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產(chǎn)品介紹

特征概覽:

  • 非接觸式超小設(shè)計(jì)，監(jiān)測高功率射頻電源的電流及電壓傳輸
  • 方便替換傳統(tǒng)的光譜儀，準(zhǔn)確探測刻蝕工藝的終點(diǎn)
  • 監(jiān)測腔體是否刻蝕干凈及過度刻蝕，縮短刻蝕時(shí)間和降低氣體成本，提高生產(chǎn)機(jī)臺(tái)使用率
  • 高速采樣頻率，可達(dá)2萬赫茲

應(yīng)用：

  • 用于半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕腔體工藝等離子體放弧探測及刻蝕終點(diǎn)探測（Endpoint）。

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