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KIN-TEK標準氣體動態稀釋儀

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睿科集團股份有限公司

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875

產品介紹

FlexStream是制備痕量濃度標準氣體(ppm, ppb, 和ppt)及混合物的**技術。FlexStream使用KIN-TEK公司可溯源的一次性,或可重復裝填和擴散滲透管,超過500種化合物可選擇。

系統特點:

▲完整的、集成的、操作簡便的系統

▲全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt

▲操作模式:待機,零位,配氣和吹掃

▲彩色觸摸屏用于參數設定和監測

▲通過Modbus與其它電腦連接,用于本地或遙控控制

▲具擴展性

▲流路設計具有**靈活性,*低的誤差

▲流路接觸材料適合反應活性氣體 -化合物接觸材料僅僅是玻璃,特富龍和不銹鋼(其它特制材料可選)

▲可以使用一次性的滲透管,擴散管,超高滲透率的液體裝填滲透管,硅片管,以及預裝填氣體的滲透管

▲一個滲透管爐腔可以容納八只6英寸長,1/4英寸直徑的一次性滲透管(KIN-TEK HRT, SRT 和EL)

▲可以安裝一只KIN-TEK預裝填的LFH,ULED和57系列的滲透管

FlexStream系統可以根據應用選擇一個或多個功能模塊

FlexStream 基本單元模塊:

“基本單元”是所有FlexStream 系列型號中必須選擇的。FlexStream基本單元模塊具有如下特點:

▲前置彩色觸摸屏操作界面;

▲滲透管爐;

▲一級稀釋氣體質量流量控制單元;

▲以太網和RS-232串口,用于與外接的計算機連接

FlexStream系統其他功能模塊還包括:

▲PM輔助滲透管模塊

▲GF氣體填裝滲透管模塊

▲SD 二級稀釋模塊

▲IM接口模塊

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