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世友創業愛德華STP-iXR1606

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世友創業(北京)科技有限公司

英國

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面議

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1144

產品介紹

STP-iXR1606系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業內**的性能,機載控制裝置中包含**技術的小型電源供給。其設計理念與STP-iXA2206/iXA3306系列相同。**開發的革命性轉子設計提高了抽取性能,這一完全集成的產品易于安裝且占地面積小,可作為所有應用工具的一體化解決方案。

應用

玻璃涂層

太陽能PVD

工業濺射

特性與優勢

泵和控制器之間不需要連接電纜。 消除了傳統架裝式控制器的安裝空間和成本。

緊湊型設計使安裝更加方便,占地面積更小。 與STP-A1603配套時在8” TMP同類產品中抽速**。 使高氣體流速領域的功耗降低了32%。 標配端口包括I/O遠程、RS232C、RS485、STP-Link

可選配Profibus和DeviceNet

技術數據

入口法蘭尺寸

VG200/VG250

VG150

ISO200F/ISO250F

ISO160F

ICF253/ICF305

ICF203

前級抽氣口尺寸

KF40

KF40

抽速

N2

1600 ls-1

900 ls-1

H2

1200 ls-1

600 ls-1

壓縮比

N2

>108

>108

H2

1 x 103

1 x 103

極限壓力

10-7Pa (10-9Torr)

10-7Pa (10-9Torr)

允許的前級壓力

266 Pa (2 Torr)

266 Pa (2 Torr)

**氣流N2(僅水冷)

4700 sccm

4700 sccm

(7.94 Pam3s-1)

(7.94 Pam3s-1)

**氣流Ar(僅水冷)

1800 sccm

1800 sccm

(3.04 Pam3s-1)

(3.04 Pam3s-1)

額定速度

36,500 rpm

36,500 rpm

啟動時間

8 min

8 min

固定位置

任何方向

任何方向

輸入電壓

200至240 (± 10) V交流

200至240 (± 10) V交流

**輸入功率

750 VA

750 VA

重量

48 kg

48 kg

產品咨詢

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