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羅茨泵組 CombiLine系列

羅茨泵組用于中低真空環境，并提供高抽速，尤其在過渡范圍內。

CombiLine 代表了各種羅茨泵組，特點是將前級泵、抽速和配件區別開。它是針對高要求工藝（例如電子束焊接、冷凍干燥模擬室）的定制化解決方案。

標準 CombiLine 泵組

• 配備單級 HenaLine 旋片泵的 CombiLine WU 羅茨泵組

• 配備兩階段 DuoLine 旋片泵的 CombiLine WD 羅茨泵組

• 配備 HeptaDry/UniDry 干式壓縮泵的 CombiLine WH 羅茨泵組

干式羅茨泵站 （CombiLine WH）

普發真空提供干式羅茨泵站，將羅茨泵與多級前級泵相結合。該泵站的高抽速使得較高的極限壓力成為現實。

干式羅茨泵站是面向高要求工藝（例如半導體行業）的一流解決方案。減少了保護設備的泵站可用于需求稍松的工藝，例如裝載互鎖應用，或在濺射工藝中用作前級泵。從小真空室到太能陽技術**吞吐量和顯示面板制造，我們都可以提供解決方案。

優勢

• 干燥無油的吸入室

• 這些解決方案提供了**泵容量和高可靠性。

應用

• 鍍膜

• 冶金

• 真空干燥

• 脫氣

• 光伏

• 研發

• 化學工業

油潤滑羅茨泵組 （CombiLine WU / CombiLine WD）

普發真空提供羅茨泵組，將傳統羅茨泵與油潤滑旋片泵相結合。這些泵組提供良好的真空度，同時有較高的抽速。將旋片泵與羅茨泵結合以獲得泵組，這種方式可謂經典解決方案，可以實現真空室的快速排空和中高真空下的工藝氣流傳輸。對于許多行業工藝而言，使用油封前級泵仍然是**的選擇，因為就購買價格以及產品生命周期成本而言，它代表了*耐用和**成本效益的解決方案。

優勢

• 從*基本的泵系統到*全面的泵系統，一應俱全

• **泵容量和高可靠性

應用

• 裝載互鎖

• 鍍膜

• 冶金

• 研發

• 一般工業應用

抽速對比

CombiLine WU

CombiLine WD

CombiLine WH