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>FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

品牌展臺(tái): 易威奇有限公司
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FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

直接聯(lián)系

易威奇有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

易威奇

型號(hào):

FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

關(guān)注度:

455

產(chǎn)品介紹

高速?zèng)_程

高速?zèng)_程 (FS-80N**達(dá)200 spm),讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低,可同時(shí)用于高流量及高壓力

工況。

無(wú)污染設(shè)計(jì)

過流端采用氟樹脂無(wú)污染構(gòu)造,使用獨(dú)有的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng)**)。

高流量及高吐出壓力

**吐出量高達(dá)0.7MPa,不僅滿足化學(xué)供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時(shí)適用于清洗

及CMP制程。

傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制

吐出量。

**吐出量

100 L/min

**吐出壓力

0.7 MPa

**耗氣量

1495 NL/min

**沖程率

100 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 60 °C


產(chǎn)品咨詢

FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

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