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水質(zhì)級(jí)別

一級(jí)超純水

EDI二級(jí)純水

產(chǎn)水速度⁵

120L/h

10L/h

純水分配速度³

2L/h

3L/h

定量取水

2L/h流速，100mL，1L，5L步進(jìn)，范圍0.1-60L

-

定量取水精確度⁴

0.25-60L范圍內(nèi)3%

-

產(chǎn)水電導(dǎo)率

0.055μs/cm(25℃)

0.2-0.07μs/cm(25℃)(典型)⁴

產(chǎn)水電阻率

18.2MΩ·cm(25℃)

5-15MΩ·cm(25℃)(典型)⁴

TOC含量（帶紫外燈）

<2ppb²

<30ppb⁶

TOC含量（不帶紫外燈）

<5ppb²

<30ppb⁶

微生物含量¹

<1cfu>

<1cfu>

顆粒物含量¹

<1>

<1>

顆粒物和微生物去除率

-

99%

進(jìn)水壓力

2-6.9bar

溫度

2-30℃

電導(dǎo)率

<1500μs/cm(25℃)

TOC

<1000ppb

總硬度（max.CaCO₃）

360 ppm

游離氯

4 ppm

鐵（總Fe含量）

<0.1ppm

錳

<0.05ppm

鋁

<0.05ppm

溶解的CO₂

40ppm

污染指數(shù)（SDI）

<5

濁度

<1 NTU

pH值

4-10