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高溫純化設備

高溫純化設備

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山西中電科新能源技術有限公司

山西

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面議

品牌:

山西中電

型號:

高溫純化設備

關注度:

681

產品介紹

該裝備是將石墨制品、碳氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動,經過物理擴散、化學反應使雜質元素從基體中排出,形成灰分含量低(5ppmw)、金屬含量降到PPB數量級,從而達到半導體晶體生長對石墨品質(或粉體原料)要求的工藝過程。 
技術參數
       **溫度: 2500℃     常用工作溫度:2200℃
       溫度均勻度:≤±5℃   儀表控溫精度:±1℃
       抽真空時間:≤120min

 

有效工作空間( mm)**溫度(℃)
840-840-6602200
Φ1380-9002500
Φ1300-8202500
Φ1300-10502500
Φ1400mm-10502500
Φ1400mm-20002500


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