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應用領域：

適用于電子半導體、大規模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發、實驗分析等。

特點：

●  適用于氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣和氨氣，原料氣不低于99.999%

●  深度脫除雜質O₂、H₂O、CO、CO₂、H₂、N₂、CH₄和NMHC至1ppb/10ppb

●  雙塔交替吸附再生，單塔催化，終端Getter吸附，全自動連續運行

●  EP級拋光不銹鋼管件

●  配置0.003μm過濾器，去除率可達99.999999% /99.99999%

●  西門子 PLC 可接入DCS系統

●  安全報警功能完善

●  可提供遠程云服務

●  超凈環境中生產組裝

●  氣體處理量10-20000Nm³/h