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一、技術參數：

       1、處理氣量：≤1-4Nm3/h

       2、原料氣純度：≥99.9％

       3、純化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9999%要求

         各項指標如下、           

             H2≤0.1ppm  

             O2≤0.1.ppm  

             N2≤0.1.ppm  

             含碳量≤1.ppm

             露點  1.ppm

      4、出口壓力：0.05～0.8Mpa可調